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在100度下抽真空,一段時(shí)間后,真空泵里有水,如何解決/

用的是旋片式的真空泵,一段時(shí)間后里面全是水了.
問(wèn) 提問(wèn)者:網(wǎng)友 2017-06-30
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是因?yàn)檎婵毡盟闅怏w里面含有水蒸氣,旋片式真空泵在抽氣過(guò)程中對(duì)氣體有壓縮作用.由于壓縮作用水蒸氣就會(huì)變成水.這會(huì)使真空泵內(nèi)的泵油乳化,對(duì)真空泵是很有害的.你能不能再祥細(xì)描述一下你所抽的氣體,不過(guò)有一點(diǎn)是可以肯定的,你說(shuō)抽的氣體里肯定含有一定量的水蒸氣.根據(jù)說(shuō)抽氣體水蒸氣含量的不同可以有不同的解決辦發(fā),如果是少量的,可以打開氣振閥.如果工藝允許的話,可以在泵的進(jìn)氣口安裝冷凝裝置.如果水蒸氣特別多,工藝又不允許安裝冷凝裝置的話,就要換其他種類的泵了.還要把你要的真空度說(shuō)一下我公司是美國(guó)AJA磁控濺射系統(tǒng)及德國(guó)普發(fā)真空泵(分子泵,旋片泵,羅茨泵)在中國(guó)的代理商,我剛進(jìn)入真?zhèn)€行業(yè),歡迎進(jìn)行技術(shù)交流.e_mail:micheal_feng@yahoo.com.cn
回答者:網(wǎng)友
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