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等離子體刻蝕和LPCVD 真空泵常用那種類型？

等離子體刻蝕和LPCVD 真空泵常用那種類型？泵體中所含有毒有害廢氣有哪些？
問 提問者：網(wǎng)友 2017-01-28
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傳統(tǒng)采用的一般是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵，水環(huán)真空泵對氣體介質(zhì)要求低，但是體積較大，效率低且維護(hù)量大。漸漸的在光伏光電子行業(yè)已經(jīng)淡出。旋片真空泵體積小，造價(jià)很低，但是運(yùn)行不穩(wěn)定，會帶來油污污染，且存在明顯機(jī)械摩擦，葉片損壞較快，氣量衰減快。近年有很多實(shí)力強(qiáng)的企業(yè)已經(jīng)開始采用一些品質(zhì)好的螺桿真空泵代替?zhèn)鹘y(tǒng)真空泵，螺桿真空泵運(yùn)行較穩(wěn)定，系統(tǒng)內(nèi)有油污處理設(shè)備，維護(hù)周期長。缺點(diǎn)是國內(nèi)的螺桿真空泵廠家質(zhì)量還不過硬，國外產(chǎn)品價(jià)格較高，一次投資大。所以新建企業(yè)由于投資問題都選用便宜的旋片真空泵，在投產(chǎn)形成利潤后很多漸漸選用螺桿真空泵進(jìn)行技改。
回答者：網(wǎng)友
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