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2018-07-24
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中文: 壓力傳感器的論文 合理進(jìn)行壓力傳感器的誤差補(bǔ)償是其應(yīng)用的關(guān)鍵。壓力傳感器主要有偏移量誤差、靈敏度誤差、線性誤差和滯后誤差,本文將介紹這四種誤差產(chǎn)生的機(jī)理和對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,同時(shí)將介紹為提高測(cè)量精度的壓力標(biāo)定方法以及應(yīng)用實(shí)例。 目前市場(chǎng)上傳感器種類豐富多樣,這使得設(shè)計(jì)工程師可以選擇系統(tǒng)所需的壓力傳感器。這些傳感器既包括最基本的變換器,也包括更為復(fù)雜的帶有片上電路的高集成度傳感器。由于存在這些差異,設(shè)計(jì)工程師必須盡可能夠補(bǔ)償壓力傳感器的測(cè)量誤差,這是保證傳感器滿足設(shè)計(jì)和應(yīng)用要求的重要步驟。在某些情況下,補(bǔ)償還能提高傳感器在應(yīng)用中的整體性能。 本文以摩托羅拉公司的壓力傳感器為例,所涉及的概念適用于各種壓力傳感器的設(shè)計(jì)應(yīng)用。 摩托羅拉公司生產(chǎn)的主流壓力傳感器是一種單片壓阻器件,該器件具有3類: 1. 基本的或未加補(bǔ)償標(biāo)定; 2. 有標(biāo)定并進(jìn)行溫度補(bǔ)償; 3. 有標(biāo)定、補(bǔ)償和放大。 偏移量、范圍標(biāo)定以及溫度補(bǔ)償均可以通過(guò)薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn),這種薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)在封裝過(guò)程中采用激光修正。 該傳感器通常與微控制器結(jié)合使用,而微控制器的嵌入軟件本身建立了傳感器數(shù)學(xué)模型。微控制器讀取了輸出電壓后,通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器的變換,該模型可以將電壓量轉(zhuǎn)換為壓力測(cè)量值。 傳感器最簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)模型即為傳遞函數(shù)。該模型可在整個(gè)標(biāo)定過(guò)程中進(jìn)行優(yōu)化,并且模型的成熟度將隨標(biāo)定點(diǎn)的增加而增加。 從計(jì)量學(xué)的角度看,測(cè)量誤差具有相當(dāng)嚴(yán)格的定義:它表征了測(cè)量壓力與實(shí)際壓力之間的差異。而通常無(wú)法直接得到實(shí)際壓力,但可以通過(guò)采用適當(dāng)?shù)膲毫?biāo)準(zhǔn)加以估計(jì),計(jì)量人員通常采用那些精度比被測(cè)設(shè)備高出至少10倍的儀器作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。 由于未經(jīng)標(biāo)定的系統(tǒng)只能使用典型的靈敏度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力,測(cè)得的壓力將產(chǎn)生如圖1所示的誤差。 這種未經(jīng)標(biāo)定的初始誤差由以下幾個(gè)部分組成: a. 偏移量誤差。由于在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。 b. 靈敏度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)(見(jiàn)圖1)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。 c. 線性誤差。這是一個(gè)對(duì)初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對(duì)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。 d. 滯后誤
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